问几个关于真空的问题
Mr.ienore2014/09/28机械与工具 IP:广东
额..新版不会上传图片Orz
今年科技节的制作打算是台小的质谱仪,需要一个真空环境,很纯的小白..
我用的是玻璃扩散泵,要得到一个在10^-5pa量级的真空,我打算这样做:

旋片泵----阀门1----扩散泵----电阻规1----阀门2----电阻规2+电离规----真空室

第一次使用的时候(这时候扩散泵和真空室里面的气压都还是常压),把阀门1和阀门2一起打开,用旋片泵抽气,当电阻规1或2测得气压在10pa以下之后就打开给扩散泵加热的电炉,开始用扩散泵抽真空,然后电离规测得气压在10^-5pa左右的时候质谱就开始工作了;使用完之后,关闭阀门2以及阀门1.然后关掉旋片泵,真空室和扩散泵内始终保持着真空。以后每次使用的时候,都先打开阀门1,用旋片泵抽气,然后电阻规测得气压小于10pa时再开启扩散泵电炉的电源并打开阀门2,待电离规测得气压满足条件之后质谱开始工作。
那请问像上面那样的工作流程可不可行呢?有哪些地方需要更改?
PS:关于泵的几个使用上的不解..:①扩散泵的冷却水套中的水温应控制在什么范围内?②网上有文档说“不能用机械泵将真空室直接抽至低于13.3pa的压力,因为当压力低于13.3pa时会引起机械泵油蒸汽分子反流到真空室而造成污染。”?机械泵2x-1不是说可以抽到0.67Pa么?③网上说扩散泵应在气压小于10pa时才启动,请问这个10pa值的是扩散泵排气口处的气压还是进气口?抑或是没区别呢?

[s:38]
来自:仪器与装备 / 机械与工具
6
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~~空空如也
samhrc
9年7个月前 IP:浙江
724404
这个流程有个错误,虽然没看到图。

"使用完之后,关闭阀门2以及阀门1.然后关掉旋片泵,真空室和扩散泵内始终保持着真空。以后每次使用的时候,都先打开阀门1,用旋片泵抽气,"

顺序是错的,应该先开机械泵,当机械泵的真空建立起来了(粗真空,需要一个真空表看即可),然后再开机械泵和扩散泵之间的阀门,不然机械泵油会倒抽进扩散泵中。

1、扩散泵进出口水温不能相差过大,具体需参考使用说明。
2、确实是不能直接用机械泵将真空系统内抽至机械泵的极限(过了很长时间)再开扩散泵。这时候你需要在机械泵和扩散泵,以及扩散泵和真空室之间加两个冷阱防止介质分子扩散。
3、扩散泵排气口。
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Mr.ienore作者
9年7个月前 IP:广东
724434
引用 samhrc:
这个流程有个错误,虽然没看到图。

"使用完之后,关闭阀门2以及阀门1.然后关掉旋片泵,真空室和扩散泵内始终保持着真空。以后每次使用的时候,都先打开阀门1,用旋片泵抽气,"

顺序是错的,应该先开机械泵,当机械泵的真空建立起来了(粗真空,需...
感谢。也就是说流程应该改成:".....都先用旋片泵抽气,当真空度足够低后再打开阀门1,“是吗?

2:你说不能待机械泵将真空室抽至极限(0.067pa)后过很久再开扩散泵,那我能否不用冷阱,在机械泵刚把真空室抽到10pa左右的时候就提前开扩散泵呢?扩散泵从开始加热到工作,之间也有一段时间,这段时间内又会不会出现返油呢?
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samhrc
9年7个月前 IP:浙江
724577
1、是的,粗真空上来了再开阀门1 (就是扩散泵排气口的阀门)

2、也不用那么严格,但是粗真空不够就开扩散泵虽然不会倒油但是扩散泵油的寿命短,容易变色氧化。最好设置冷阱。
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Mr.ienore作者
9年7个月前 IP:广东
724972
引用 samhrc:
1、是的,粗真空上来了再开阀门1 (就是扩散泵排气口的阀门)

2、也不用那么严格,但是粗真空不够就开扩散泵虽然不会倒油但是扩散泵油的寿命短,容易变色氧化。最好设置冷阱。
谢啦!
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tyomm
9年5个月前 IP:北京
731119
螺杆泵     阀门      罗茨泵     阀门      分子泵         阀门          真空
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