山寨工业利器:MEMS真空规901p拆解

这个就不废话了,直接上图

20190505_184038.jpg

 很紧凑

20190505_183945.jpg

 金封的是高量程传感器

20190505_183918.jpg

 细节

20190505_183858.jpg

 接口板,这么多继电器…

20190505_183844.jpg

 电源

20190505_183825.jpg

 电源

20190505_183820.jpg

 KF16接口,两个洞对应两个量程

20190505_183813.jpg

 另一角度

20190505_183809.jpg

 一个量程芯片直接暴露,靠一个O型密封圈密封

20190505_183751.jpg

 另一个量程通过一个细管子传导,管子插入稍大的空里,靠一个密封圈密封

20190505_183746.jpg

 传感器细节,啥都看不到

20190505_184243.jpg

该传感器量程宽广,可从0.001Pa测到大气压强(100kPa),是常规真空系统最常用的传感器,新的售价约4kCNY。

剧终

来自:科创广场 / 拆机鉴赏科创广场 / 科创茶话
RodTech
2年5个月前
1楼

這東西從鹹魚買的話,七八個裡面有一個壞的,現象就是高壓傳感器正常,低壓始終飽和,拆開發現mems糊滿了油。。。。

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RodTech
2年5个月前
2楼

接個帶電池的usb表當作電壓曲線data logger,出門買泵十分方便

Screenshot_20190506-000227_Gallery.jpg

 

Screenshot_20190506-000326_Gallery.jpg

 

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Csatom
2年5个月前
3楼

看着不错

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