拆机科创茶话
山寨工业利器:MEMS真空规901p拆解
虎哥 2019-5-5

这个就不废话了,直接上图

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 很紧凑

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 金封的是高量程传感器

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 细节

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 接口板,这么多继电器…

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 电源

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 电源

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 KF16接口,两个洞对应两个量程

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 另一角度

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 一个量程芯片直接暴露,靠一个O型密封圈密封

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 另一个量程通过一个细管子传导,管子插入稍大的空里,靠一个密封圈密封

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 传感器细节,啥都看不到

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该传感器量程宽广,可从0.001Pa测到大气压强(100kPa),是常规真空系统最常用的传感器,新的售价约4kCNY。

剧终

2019-5-6 06:58:54
1楼

這東西從鹹魚買的話,七八個裡面有一個壞的,現象就是高壓傳感器正常,低壓始終飽和,拆開發現mems糊滿了油。。。。

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2楼

接個帶電池的usb表當作電壓曲線data logger,出門買泵十分方便

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3楼

看着不错

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