中科科仪溅射离子泵拆解

偶然得到一台大型溅射离子泵,拆了电极组看一下。

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来自 拆机鉴赏
2019-6-18 22:40:31
苦丁茶(作者)
1楼

解释一下,有涡旋桶装结构的是阳极,钛化合物在此凝结,需要定期清理。板状结构的是钛阴极,可以明显看见对应涡旋结构位置有凹坑,是钛蒸发的结果。

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2019-06-19 08:29:48
2楼

以前没见过呢,阴极是钛板,阳极是什么材料啊?

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苦丁茶(作者)
3楼
引用 马小甲 发表于 2 楼的内容:
以前没见过呢,阴极是钛板,阳极是什么材料啊?

看起来是不锈钢的,和钛板明显不同。有一篇文档可以参考一下。

KYKY溅射离子泵使用说明书.pdf
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IMG_4197.JPG

左边的分子泵提供10e-4Pa左右的前级真空,真空达到以后关闭分子泵的阀门打开右边那个离子泵的高压电源,真空度会进一步提升。


[修改于 6 个月前 - 2019-06-19 10:09:53]

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4楼

有可能不是不鏽鋼。不鏽鋼極限真空不好也沒省多少錢近代的很少見,好一點的離子泵一般是一頭tantalum,一頭鈦的。

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苦丁茶(作者)
5楼
引用 RodTech 发表于 4 楼的内容:
有可能不是不鏽鋼。不鏽鋼極限真空不好也沒省多少錢近代的很少見,好一點的離子泵一般是一頭tantalu.....

不像金属钽的质感,这是国产的便宜货,不一定能用钽

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2019-06-20 13:51:46
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6楼

看到了传说中的钛泵。有些大型电子管里面就有个小钛泵,定期开几个钟头。

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苦丁茶(作者)
7楼
引用 虎哥 发表于 6 楼的内容:
看到了传说中的钛泵。有些大型电子管里面就有个小钛泵,定期开几个钟头。

X射线影像增强器里面就有一个离子泵,通电就抽真空,所以放久了的增强器图像会模糊一会,一段时间才能到最清晰的状态。还有钛泵和溅射离子泵不是一个东西,原理不同,虽然都用钛做活性物质。下面这个网页上详细说了钛泵和溅射离子泵的区别和关系,可以看看。http://www.chvacuum.com/pumps/gas/11495.html

[修改于 5 个月前 - 2019-06-22 14:01:48]

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8楼
引用 苦丁茶 发表于 7 楼的内容:
X射线影像增强器里面就有一个离子泵,通电就抽真空,所以放久了的增强器图像会模糊一会,一段时间才能到最.....

学习了。

[修改于 5 个月前 - 2019-06-22 14:05:53]

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2019-06-22 13:51:27
2019-6-22 13:51:27
9楼

哈哈好东西拆了。系统干净的话离子泵一路抽到1E-12torr都没啥问题。


钛泵是靠化学反应的,一般是钛灯丝通几十A电流把钛蒸镀到真空腔内壁上,然后这层钛和残余的氧气氮气什么的反应。所以钛泵是抽不了氦气的,因为钛无法和氦气反应。钛泵要自己设计正确的真空腔内壁,一般来说面积越大越好。定期开启电源是为了镀一层新的钛。钛泵抽速非常非常高。


离子泵基本和一个冷阴极规差不多(所以你还可以用离子泵的工作电流来估计真空度),基本是把电离的残余气体分子埋进钛,同时溅射出钛,这些钛还和前面钛泵一样靠化学反应吸附其他气体。最后结果就是一般气体都可以抽。结构的话现在基本是diode或者starcell

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苦丁茶(作者)
10楼
引用 justinpiggy 发表于 9 楼的内容:
哈哈好东西拆了。系统干净的话离子泵一路抽到1E-12torr都没啥问题。钛泵是靠化学反应的,一般是钛.....

这个泵设计就是可以更换电极的。我就是把电极拆下来看看,拆完直接返厂清洗。停用好几年了也不干净了

[修改于 5 个月前 - 2019-06-22 14:17:57]

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