2019-6-18 22:40:31
话题
看到了传说中的钛泵。有些大型电子管里面就有个小钛泵，定期开几个钟头。
X射线影像增强器里面就有一个离子泵，通电就抽真空，所以放久了的增强器图像会模糊一会，一段时间才能到最清晰的状态。还有钛泵和溅射离子泵不是一个东西，原理不同，虽然都用钛做活性物质。下面这个网页上详细说了钛泵和溅射离子泵的区别和关系，可以看看。http://www.chvacuum.com/pumps/gas/11495.html
[修改于 1 年前 - 2019-06-22 14:01:48]
哈哈好东西拆了。系统干净的话离子泵一路抽到1E-12torr都没啥问题。
钛泵是靠化学反应的，一般是钛灯丝通几十A电流把钛蒸镀到真空腔内壁上，然后这层钛和残余的氧气氮气什么的反应。所以钛泵是抽不了氦气的，因为钛无法和氦气反应。钛泵要自己设计正确的真空腔内壁，一般来说面积越大越好。定期开启电源是为了镀一层新的钛。钛泵抽速非常非常高。
离子泵基本和一个冷阴极规差不多（所以你还可以用离子泵的工作电流来估计真空度），基本是把电离的残余气体分子埋进钛，同时溅射出钛，这些钛还和前面钛泵一样靠化学反应吸附其他气体。最后结果就是一般气体都可以抽。结构的话现在基本是diode或者starcell
引用justinpiggy发表于9楼的内容哈哈好东西拆了。系统干净的话离子泵一路抽到1E-12torr都没啥问题。钛泵是靠化学反应的，一般是钛...
这个泵设计就是可以更换电极的。我就是把电极拆下来看看，拆完直接返厂清洗。停用好几年了也不干净了
[修改于 1 年前 - 2019-06-22 14:17:57]
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