外围参观PFEIFFER公司HLT260型氦质谱检漏仪

在科学研究和工业生产中,经常需要用到高真空环境。例如,用于模拟卫星在宇宙空间的运行环境的热真空实验舱,就需要10E-5Pa以下的低气压,这是一种高真空。在高真空中,可以把气体视为孤立的分子,并不像常压下那样能够迅速的从高压扩散到低压。通俗的讲,实验舱如果有任何一点泄漏,气压都不能抽到规定标准。

假如真空度无法达标,如何检测泄漏的位置呢?泄漏往往很小,绝不可能听到“嗤嗤”的声音的。为了解决这个问题,人们发明了质谱检漏法。

把一台质谱仪接在真空舱上,让质谱仪抽真空,真空舱内所有的气体和分子流,都会通过质谱仪排走。在真空舱的外面喷洒一点氦气,如果有漏孔的话,氦气会被抽进真空舱,然后进入质谱仪,质谱仪可以做到极高的灵敏度,因此只需要很少的氦气。

有关氦质谱检漏的知识,可以参考下面论文:

氦质谱检漏仪检测原理及应用-何己有.pdf
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这台检漏仪是PFEIFFER公司在本世纪初生产的(这类仪器的生命周期很长,同一型号可以连续生产二十年以上而不用换代),大概来说是近代技术。由于属于在用设备,暂时也不需要大修,所以只能外围参观一下。

这是外观,下方的接头用于连接被测真空舱。

20190718_191325.jpg

拆开盖子

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右侧两个长得像步进电机的东西,其实是阀门的驱动器,它们连接的方形铝块,是分子泵。泵的电机在铝块下面。这是一种集成气路。

20190718_145101.jpg

这是一个真空规

20190718_145133.jpg

这应该是偏转磁场发生器

20190718_145139.jpg

右下罐子是离子检测器

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这是前级泵

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20190718_145526.jpg

盖子的锁紧装置

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底座下面。左侧白色圆形是分子泵的底部。

20190718_145825.jpg

参考:

质谱仪的拆解

https://www.kechuang.org/t/67701 

剧终。

[修改于 4 个月前 - 2019-07-18 22:29:25]

来自 拆机鉴赏极客实验
2019-7-18 23:42:52
1楼

要是在国内的话就拼一套出来用了,质谱室我陆陆续续买了三个,全是买分子泵搭配来的。。。一直在玩四极杆没有开工纯氦的质谱。

可以关注一下倒洋垃圾的那群闲鱼上的人,他们文化水平都低得不行只认识个分子泵,一般上面接的小盒子就当做盖子送了。。我至今莫名其妙获得2套四极杆,三套氦质谱。灯丝也是很耐用的,yittria coated能耐好久大气基本不用考虑寿命。

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2019-08-23 15:00:17
2019-8-23 15:00:17
2楼
引用 RodTech 发表于 1 楼的内容:
要是在国内的话就拼一套出来用了,质谱室我陆陆续续买了三个,全是买分子泵搭配来的。。。一直在玩四极杆没.....

这些卖家简直了!

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3楼

以前在电池设备公司见过安徽国产的,听说一台20多万。

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2019-08-24 08:11:26
4楼

原来质谱检漏是这么用的~~~

当前在做的LDAR是测罐子/阀门往外漏的气体(大多为VOC)。

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虎哥(作者)
5楼
引用 ry7740kptv 发表于 4 楼的内容:
原来质谱检漏是这么用的~~~当前在做的LDAR是测罐子/阀门往外漏的气体(大多为VOC)。

对于正压捡漏,就得反过来测,罐子里面装氦气,检漏仪从另一个口吸气。原理是气体经毛细管进一点点到真空室,在低真空下做质谱。和机场的炸药探测仪原理几乎相同。

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