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反射式高能电子衍射仪(RHEED)的调试反射式高能电子衍射仪(RHEED)的调试
RHEED以一束能量为10~30KeV的高准直性、单色性的电子束作为探束,经电磁透镜偏转后以1-3°的掠射角掠射sample表面,反射形成电子衍射图像。
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