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单晶硅片的镀膜工艺(丐版)
  本实验是DIY半导体辐射探测器项目的一部分,与其说是一篇教程,不如说是一篇整活记录文。文中的工艺涉及气相沉积,但由于气相沉积板块指明为MPCVD相关,故笔者选择将本文发表于晶体养成版,原因显而易见...
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