三极管.doc
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三极管制作(NPN)
在这里我使用硅晶圆 P沉底 在家中找一张桌子
1个DLP投影仪
嗯电脑
投到显微镜下方,调好焦距成一个精细的像 曝光45分
感光蓝油 (自调)
光刻胶不在蚀刻中脱落
一,增加曝光时间。
二,增加旋涂时间。
三,很少光刻胶的用量。
四,减少在氢氟酸溶液中的浸泡时间
他会像这样如
这里光刻的三极管十分的大。因为他能让你们看的更清晰一点毫米级别的。毫米级别的。
制作 光刻机 时记住投影仪和显微镜尽量是连着的,中间不需要任何镜头的转接的转接。
如果你把投影仪放到了显微镜上。你在目镜中没有找到像。请调节你的投影仪。实在不行的话,就用最小的物镜。从装物台上观看
调节粗准焦螺旋与细准焦螺旋让图更加的清晰。
如果你想做这些我可以不说。你可以在制作的过程中慢慢体会。
此时光刻的注意条件以及方法都说完了。还有运用的东西。
下面是讲旋涂芯片
如果你是和我一样用的比较粘稠的感光蓝油的话,你可以使用暴力风是扇。作为你的旋涂机。连接12V的电源。他一般是红和黑。为正负两极。通过其余两个线的震荡频率来调节风扇的转速。你也可以不用用,因为我也没用。那两根线也可以作为开关,但是呢咱这不需要。
如图
在这里固定芯片我用的双面胶来固定的。
如果你觉得芯片图的光刻胶不够圆润,那你可以用。他自带的稀释剂不行滴在上面再涂上一遍,它就变得非常的平整。
因为感光蓝油是油墨,可以买油墨稀释剂。
或者你买那种感光蓝色油做的一种胶布。用热熨斗。把胶布紧紧的贴在芯片上。
因为我没有所以没有图
旋涂多长时间?取决于你涂的薄与厚。
在这里我说一下子如何切芯片儿?把芯片儿切成均匀的小立方体
一,需要把芯片儿从中间一分为二。
二,然后儿再分成四份儿。
三,然后成条状切分分成若干片儿,取决于你。
四,然后再横着分。分成一个个小的晶圆
如图,这是切好的成品。也有切坏的。你需要专门儿的买一个切割笔来切。也可以只买笔头。
光刻完的芯片儿。放到在家里常用的碱面儿水里。然后擦去不用的胶,你就得到了一个你想要的形状。
如图
下面一定要注意危险,未成年人请勿模仿。
我们买的氢氟酸溶液是擦玻璃用的。陶瓷做旧的。占比是40%。你可以拿一个塑料瓶来。做这个溶液的反应容器。我手头没有塑料瓶。所以我拿了一个玻璃瓶。但是也行啊。
在玻璃瓶中放入少量的水,在滴加几滴。氢氟酸
注意氢氟酸溶液。它具有挥发性,小心!
一定要做好万全准备再接触他
如图,这是我买来的。
如图,这是他在锥形瓶
由于我想让他快点儿反应,所以我加热了一下。隔水加热
如图
如果你想让他加速反应,请找一个铝的金属。把它磨成沫,得到铝粉。放进去它能加速反应。如果不放的话,他反应估计很慢,甚至不反应。
如图
完这些后,你就可以拿出你刻好的芯片儿。用水冲冲洗。晾干加入丙酮溶液如果反应时间过长,你会得到一个不完整的刻的芯片使它脱落,光刻胶。
如图
脱了以后你就得到了一个没有扩散工艺的芯片儿
扩散工艺我会留到下一期再说。
到最后我会把这一整个流程拍成一个视频发到这个网上。