这个流程有个错误，虽然没看到图。

"使用完之后，关闭阀门2以及阀门1.然后关掉旋片泵，真空室和扩散泵内始终保持着真空。以后每次使用的时候，都先打开阀门1，用旋片泵抽气，"

顺序是错的，应该先开机械泵，当机械泵的真空建立起来了（粗真空，需要一个真空表看即可），然后再开机械泵和扩散泵之间的阀门，不然机械泵油会倒抽进扩散泵中。

1、扩散泵进出口水温不能相差过大，具体需参考使用说明。
2、确实是不能直接用机械泵将真空系统内抽至机械泵的极限（过了很长时间）再开扩散泵。这时候你需要在机械泵和扩散泵，以及扩散泵和真空室之间加两个冷阱防止介质分子扩散。
3、扩散泵排气口。