看起来是不锈钢的，和钛板明显不同。有一篇文档可以参考一下。

KYKY溅射离子泵使用说明书.pdf 1.21MB PDF 821次下载 预览

左边的分子泵提供10e-4Pa左右的前级真空，真空达到以后关闭分子泵的阀门打开右边那个离子泵的高压电源，真空度会进一步提升。