引用杂工1544发表于39楼的内容 请问MPCVD能长SiC大晶体吗?考虑到SiC晶体结构和某些性质类似于钻石,且当前关于其生长的报道大多数都是气相沉积……倒是搜到了一些MPCVD SiC薄膜的资料,但是没有生长体块晶体的中文报道。
一般都是用气相转移法长棒子,当然也有用提拉法的,能长几寸的且没有微孔道