引用warmonkey发表于5楼的内容 这种最基本最简单的构造,早就有人做过了。
现代的中电流离子注入设备很多都是一些Terminal voltage在百kV级的静电加速器。高能注入设备除Axcelis有RF linac外,大多也是MeV的静电加速器。
我知道有两家公司专门制造这种静电加速器:national electrostatics 和 HVEE