近期把我的4142B打开看了眼,5个SMU模块里有两个已经自检报错了,拆开一看电容大面积漏液,估计救不活了。
于是拍点图吧。以下是MPSMU和输入部分。
下面这个是HPSMU的前端部分,和MPSMU大同小异。区别在于HPSMU似乎比MPSMU多了一组低压功放,用来输出大电流。
输出开关部分,这三个继电器是水银湿簧继电器,标有UP字样,只能直立使用。
电压跟随放大器依旧是OPA111。有关lz的疑问,电流模式自然是不需要kelvin连接的,只有电压模式需要。所以他也只用了一颗OP来解决kelvin反馈(当然,这一颗OP只管SMU输出的电压反馈,信号回路另一边的kelvin点由GNDU或者其它SMU负责)。该放大器的输入直接连接到SENSE线上,同时SENSE线与FORCE线之间又通过一颗电阻连接,避免SENSE开路时输出失控。
以下是电流测量部分所用的一些分流电阻,最大为1G。对于大量程电流,uA-1A范围,没有看出来是在哪测的。
以下为电流放大器部分。顺便一提电流和电压跟随放大器都是使用浮动电源供电的,这一点在4155A的SMU板上似乎也相同。板子上有一个小变压器,接收主机提供的AC电源,然后提供+15f和-15f电压。电流放大器使用两颗单运放测量检流电阻两端的电压差,随后送出前端区域用减法器转成单端的电压。