质量流量计和质量流量控制器是一种新型的流量仪表。

一、什么是质量流量计

质量流量计，Mass Flow Meter（MFM）是用于精确测量气体体积流量的仪表，测量值不因环境温度、压力的变化而变化。它只具有测量、计量的功能。质量流量计多用于气体流通性测试，流量校准，气密性检测等场景。

二、什么是质量流量控制器

质量流量控制器，Mass Flow Controller（MFC）是用于精确控制气体体积流量的仪表，它相较于质量流量计多了一个精密的电磁比例调节阀。因此，一般情况下质量流量控制器会有一个阀门全开模式，可以作为质量流量计来使用。质量流量控制器多用于高端制造设备中流控模块的集成以及作为科研实验中的配气装置。

三、质量流量计和质量流量控制器的单位

质量流量计和质量流量控制器的单位通常是SCCM（标况下毫升每分钟）、SLPM（标况下升每分钟）。这里要区别ML/MIN和L/MIN，SCCM和SLPM是标况体积流量，ML/MIN和L/MIN是工况体积流量。大多数工业配套工艺使用标况体积流量为单位，但一些环保行业的大气监测过程需要测量的是工况体积流量。

三、质量流量计和质量流量控制器的优点

质量流量计和质量流量控制器相较于传统流量计不管是在使用的便捷性，还是长期稳定性、可靠性上都有着极大的优势。

（1）传统流量计包括浮子流量计、涡轮流量计、容积流量计等，这类传统流量计内部有运动部件，适用范围相对比较狭小，在微流量测量领域精度较差。而新型质量流量计和质量流量控制器量程比可达100:1，精度可做到0.5%~1.0%RD（流量读数*0.5%~1.0%）或者0.5%~1.0%SP（流量设定值*0.5%~1.0%）。

（2）新型的质量流量计和质量流量控制器在设计之初就贴合了高端制造业的在线监测和反馈控制的需求，可远程通过模拟信号量（4-20mA）/0-5V或者数字信号量RS485、profibus等进行数据监测以及流量的精确控制。