法兰侧面开孔连接的管路并不是用于purging，而是与下方分子泵的interstage port相连，通过内置三通将大部分进样气体送入分子泵级间，使少量气体从毛细管进入QMS的封闭离子源，起到分流效果...
感谢解惑。另外补充一下近期还拆解了一台inficon protec，算是ecotec II的前辈。因为两者结构很类似就不单独开帖子了，仅分享一下区别所在。
首先protec长得和ecotec很像，但是并没有模块化的rga，只有一个四级杆+主板（至少我这种没啥电子硬件知识得是没法回收利用了）。rga型号是HQ140（没有任何资料。。），主板也没有标明怎么接线，只有最右侧的一个排线插头。大家看到类似机器要注意区分。
质谱室仅有两个开口----四级杆接口+分子泵高真空端。设计上比ecotec II简单许多
待分析气体仅能通过分子泵逆流扩散接口进入。