在质量流量计/质量流量控制器的选型过程中往往一个重要的技术参数就是准确精度。准确精度分为读数精度（Reading 简称 RD）、设定值精度（Set Point 简称 S.P.）和满量程精度（Full Scale 简称 F.S.）。

读数精度主要表述质量流量计的测量误差范围，设定值精度主要表述质量流量控制器的控制误差范围，满量程精度既可以表述质量流量计的测量误差范围，也可以表述质量流量控制器的控制误差范围。

读数精度代表读数误差，设定值精度代表设定值误差，满量程精度代表满量程误差。±1%RD精度的质量流量计，误差范围=±1%*质量流量计读数值；±1%S.P.精度的质量流量控制器，控制误差范围=±1%*质量流量控制器的设定流量值；±1%F.S.精度的质量流量计/质量流量控制器，误差范围=±1%*质量流量计/质量流量控制器的满量程（满量程是质量流量计能测量的最大流量值以及质量流量控制器能设定的最大流量值）。

举例说明：

一台满量程为1000SCCM的质量流量计，准确精度±1%RD；

在测量500SCCM时，测量误差范围=±1%*500SCCM=±5SCCM，实际测量误差在±5SCCM之间；在测量200SCCM时，测量误差范围=±1%*200SCCM=±2SCCM，实际测量误差在±2SCCM之间。

一台满量程为1000SCCM的质量流量控制器，准确精度±1%S.P.；

在设定500SCCM流量时，控制误差范围=±1%*500SCCM=±5SCCM，实际控制流量误差在±5SCCM之间；在设定200SCCM时，控制误差范围=±1%*200SCCM=±2SCCM，实际控制流量误差在±2SCCM之间。

一台满量程为1000SCCM的质量流量计/控制器，准确精度±1%F.S.；

在测量/设定500SCCM时，测量/控制误差范围=±1%*1000SCCM=±10SCCM，实际测量/控制误差在±10SCCM之间，换算误差实际为±2%RD/±2%S.P.；在测量/设定200SCCM时，测量/控制误差范围=±1%*1000SCCM=±10SCCM，实际测量/控制误差在±10SCCM之间，换算误差实际为±5%RD/±5%S.P.。

对比来看，同样量程的质量流量计和质量流量控制器，读数精度/设定值精度比满量程精度实际误差要小很多。因此，如果您对测量数据或流量控制的准确度有更高的要求，您可以选择读数精度的质量流量计以及设定值精度的质量流量控制器，以保证测量数据和控制流量的准确性。