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半自制(改装+修复)一台扫描电镜
2025/07/30
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IP:云南

最近也是收到一台报废电镜啊,日本电子的JSM-5610LV,卖家也是很贴心的给我把加密狗和控制系统卖掉了,剩下的200公斤东西已经在货场拆解了,去掉了高压油箱,坏掉的油泵还有壳体。

IMG_20250424_165503.jpg

IMG_20250424_165528.jpg

数控部分带了板子回来可以看到这个板子相当的数字,满眼望去的DIP芯片。更加令人难绷的是这个主机因为年代久远,当时为了追求稳定性导致基本控制是一点通信接口没有,还把大量的DAC和ADC等芯片通过3/8译码器还有寄存器什么的并到了很少的总线上,这不仅让我抄板抄的生无可恋也让我彻底放弃了原机那一言难尽的数字方案。

idlefish-msg-1741703137995.png.jpgidlefish-msg-1741703140355.png.jpg
IMG_20250419_184855.jpg

欣赏一下透镜控制的部分。


基本的控制系统已经大概看完了,现在先画了一张4通道的ADC板子(画质很糊因为楼主最近在外面出差)

Image_1752670919142.jpg

然后就是维持真空的部分因为原装的油泵已经报废了,于是收了一台爱德华的EXT255H拿来做高真空,这款真空泵是带有RS232通信的,实际控制起来效果肯定比原先的热泵效果好多了IMG_20250417_095011.jpg

然后就是真空部分,真空规趁便宜从海鲜市场上收了好几个,图片我回去拍(

能谱仪着手维修了一台很新的HORIBA的SIPIN探测器,回来发现导向管弯了,看样子是氮化硅的窗口也破了,管子重新车了一根换上去,回去补个照片(

wx_camera_1751718062815.jpg

(取出来的探头)

现在基本就这些,剩下的慢慢做吧,这个项目核心就是信号读取和扫描发生器,其他的主要就是一些放大电路,比如二次电子探测器的TIA和背散射的TIA然后补一些增益控制和滤波。透镜控制就是最基本的恒流源,原机使用运放+BJT管来控制大电流,普通运放输出小电流;这里使用OPA544代替原先的BJT,普通的部分使用±50mA的精密运放即可。

剩下的有进度了随时报告,楼主最近还要水论文(

这个电镜最终用来服务楼主在研究古生物学上需要的微体化石成像所以可能有点简陋

1年3个月前IP:四川
945996
1楼

这个工程有点大,相当于电子学部分重新搞,祝成功

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2
1年2个月前IP:浙江
946279
2楼

这个牛逼!期待更新(徐徐搓手

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9个月22天前IP:吉林
948528
3楼

楼主的电镜修复到什么程度了?我也在恢复一台jeol电镜IMG_8328.jpeg

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zx-93970作者
9个月19天前修改于 9个月19天前IP:重庆
948561
4楼
引用苦丁茶发表于3楼的内容
楼主的电镜修复到什么程度了?我也在恢复一台jeol电镜[图片]

目前正在研究能谱的国际最前沿技术(前置JFET+BJT复位),算是有点跑偏了,大致上摸清楚了,BSE的部分还在设计。原机那个放大电路我是死活看不懂。仿真也跑不起来;SED的有论文,可以直接借鉴,设计的不错;真空那边的电子器件刚到,我平时科创用的少,愿意的话可以用QQ。我做了不少逆向工程,磁偏转的最大电流和有效区间这类已经被逆向出来了。还有很多因为最近在写古生物的论文所以时间很紧张/然后就是扫描用高精度DAC和FPGA,采集用ADC。其他的样品仓我要重新改一下,电子枪头也是个残废,重新做;光阑少了一个轴的微分头,太恼火了真的。

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2
9个月17天前IP:吉林
948610
5楼

最新成果:可以看见比较模糊的二次电子像了IMG_8358.jpegIMG_8356.jpeg

IMG_8355.mp4 点击下载

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我也是有底线的