本实验是DIY半导体辐射探测器项目的一部分,与其说是一篇教程,不如说是一篇整活记录文。文中的工艺涉及气相沉积,但由于气相沉积板块指明为MPCVD相关,故笔者选择将本文发表于晶体养成版,原因显而易见:单晶硅是晶体,在单晶硅上沉积的金属膜也是晶体,所以本实验的最终成果为在单晶硅表面培养另一种金属的单...
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