我凭经验感觉用连续co2激光（直流玻璃管，射频陶瓷管）溅射样品效率太低，特别是导热能力很好的材料，lz如果只想用co2激光（应该是出于广泛的强吸收特性），建议使用脉冲co2激光，coherent有这个系列，一般用于纸的超高速切割，平均功率常见400w，峰值若干kw，溅射效果很好，空气中等离子体柱有时长达5cm。

如果只是想单纯的把材料打出来，可以用其他的脉冲激光比如灯泵被动调q的Nd：YAG激光，或者LD泵浦声光调q的Nd:YAG激光，或者他们的n倍频脉冲，这样成本比较低。