引用 samhrc:感谢。也就是说流程应该改成：".....都先用旋片泵抽气，当真空度足够低后再打开阀门1，“是吗？
这个流程有个错误，虽然没看到图。
"使用完之后，关闭阀门2以及阀门1.然后关掉旋片泵，真空室和扩散泵内始终保持着真空。以后每次使用的时候，都先打开阀门1，用旋片泵抽气，"
顺序是错的，应该先开机械泵，当机械泵的真空建立起来了（粗真空，需...
2：你说不能待机械泵将真空室抽至极限（0.067pa）后过很久再开扩散泵，那我能否不用冷阱，在机械泵刚把真空室抽到10pa左右的时候就提前开扩散泵呢？扩散泵从开始加热到工作，之间也有一段时间，这段时间内又会不会出现返油呢？