RodTech作者
10年3个月前IP:广东
825914
5楼
引用 y5664579:
嗯 并没接触过ccd工艺的器件 不过军事用途方面的订单应该有一定的量吧 做到最后居然发展成mems了
OE_52_8_083102_f002.png
infrared_microbolometer_11.jpg
参考一下,现在最绝的,有几um直径弹簧支撑,这样跟基板隔离,热容小,灵敏度高。
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千古风流
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我也是有底线的