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发表于《中科科仪溅射离子泵拆解》
苦丁茶作者
7年5个月前修改于 7年5个月前IP:吉林
860261
10楼
引用justinpiggy发表于9楼的内容
哈哈好东西拆了。系统干净的话离子泵一路抽到1E-12torr都没啥问题。钛泵是靠化学反应的，一般是钛灯丝通几十A电流把钛蒸镀到真空腔内壁上，然后这层钛和残余的氧气氮气什么的反应。所以钛泵是抽不了氦气的...

这个泵设计就是可以更换电极的。我就是把电极拆下来看看，拆完直接返厂清洗。停用好几年了也不干净了

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文号 / 860261
苦丁茶
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我也是有底线的