在科学研究和工业生产中，经常需要用到高真空环境。例如，用于模拟卫星在宇宙空间的运行环境的热真空实验舱，就需要10E-5Pa以下的低气压，这是一种高真空。在高真空中，可以把气体视为孤立的分子，并不像常压下那样能够迅速的从高压扩散到低压。通俗的讲，实验舱如果有任何一点泄漏，气压都不能抽到规定标准。
假如真空度无法达标，如何检测泄漏的位置呢？泄漏往往很小，绝不可能听到“嗤嗤”的声音的。为了解决这个问题，人们发明了质谱检漏法。
把一台质谱仪接在真空舱上，让质谱仪抽真空，真空舱内所有的气体和分子流，都会通过质谱仪排走。在真空舱的外面喷洒一点氦气，如果有漏孔的话，氦气会被抽进真空舱，然后进入质谱仪，质谱仪可以做到极高的灵敏度，因此只需要很少的氦气。
有关氦质谱检漏的知识，可以参考下面论文：
这台检漏仪是PFEIFFER公司在本世纪初生产的（这类仪器的生命周期很长，同一型号可以连续生产二十年以上而不用换代），大概来说是近代技术。由于属于在用设备，暂时也不需要大修，所以只能外围参观一下。
这是外观，下方的接头用于连接被测真空舱。
拆开盖子
右侧两个长得像步进电机的东西，其实是阀门的驱动器，它们连接的方形铝块，是分子泵。泵的电机在铝块下面。这是一种集成气路。
这是一个真空规
这应该是偏转磁场发生器
右下罐子是离子检测器
这是前级泵
盖子的锁紧装置
底座下面。左侧白色圆形是分子泵的底部。
参考：
质谱仪的拆解
https://www.kechuang.org/t/67701
剧终。
要是在国内的话就拼一套出来用了，质谱室我陆陆续续买了三个，全是买分子泵搭配来的。。。一直在玩四极杆没有开工纯氦的质谱。
可以关注一下倒洋垃圾的那群闲鱼上的人，他们文化水平都低得不行只认识个分子泵，一般上面接的小盒子就当做盖子送了。。我至今莫名其妙获得2套四极杆，三套氦质谱。灯丝也是很耐用的，yittria coated能耐好久大气基本不用考虑寿命。
引用ry7740kptv发表于4楼的内容原来质谱检漏是这么用的~~~当前在做的LDAR是测罐子/阀门往外漏的气体（大多为VOC）。
对于正压捡漏，就得反过来测，罐子里面装氦气，检漏仪从另一个口吸气。原理是气体经毛细管进一点点到真空室，在低真空下做质谱。和机场的炸药探测仪原理几乎相同。
