当然需要同时知道负载的阻抗和源的阻抗，才能知道怎样把两者的阻抗转换成一样（共轭），以实现阻抗匹配。

但是等离子装置内的环境是变化的，因此阻抗也是变化的，等离子体生成后和生成前，等离子体密度高和密度低，阻抗肯定都不一样。由于馈入射频的目地是为了维持稳定的等离子体，因此显然应当按照等离子体存在时的阻抗来设计，同时要保证失配状态下，等离子体能够被引发。为了同时满足这两个条件，通常需要使用可调的阻抗匹配器，或者可调的反应腔气体压力/成分。在等离子体存在时，要想测量阻抗，只能采用大功率定向耦合器进行在线测量，目前没有成熟设备。因此，在实际工业生产中，通常的做法是把反射，也就是驻波（VSWR）调整到较小即可。驻波是标量参数，测试要容易一些，比如采用大功率通过式驻波表，射频源通常也内置了驻波测试功能。

另外，从描述猜测，你的应该是13.56MHz的射频等离子体设备，并不是MPCVD设备。13.56MHz等离子体设备使用量巨大，应该有一些老法师掌握的投机取巧办法，建议咨询有经验的师傅。