当然需要同时知道负载的阻抗和源的阻抗，才能知道怎样把两者的阻抗转换成一样（共轭），以实现阻抗匹配。但是等离子装置内的环境是变化的，因此阻抗也是变化的，等离子体生成后和生成前，等离子体密度高和密度低，阻...
谢谢高人指点，是有自动阻抗匹配器但是体积和重量很大。而我的射频电源功率很小只有100瓦左右，等离子体反应器体积也很小没必要用那种自动阻抗匹配器，我听说对于小功率射频可以自己搭建一个T或π型的固定匹配电路？
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文号 / 868330