大抽速前级泵对于这么小的腔体基本不加快进入要求真空的时间，我前面已经解释了，如果你拿个秒表，差的时间应该在一分钟以下，有耐心等24天，这一两分钟应该不慌。。。

我的测试用的规是全新PKR251，cold cathode部分也无需校准，分子泵是一台全新ISO法兰的HiPace 300，使用nXDS 15i作为前级，直接ISO转了KF40接PKR251，抽了6个小时就低于1E-8torr了，再抽了一个晚上看到的就是读不出数了，关了分子泵，在速度降低过程中，可以看到先从under range变成大约5E-9torr，再慢慢升高，这个过程甚至连烘烤都没有烘烤。你的9.5E-6Pa 就是差不多7E-8 torr，如果是干净系统用双级旋片泵接分子泵稍加烘烤抽到1E-8torr应该是完全没有问题的。建议检查PKR251是否被污染，O-ring到底是不是Viton（Buna-N可差了），Viton是否有提前清洗和150度真空烘烤若干小时。冬天抽24天很可能并比不上整个系统升到100摄氏度烤个一两天。

管路复杂导致极限真空差，那就是流导小，属于在初始设计时就要考虑问题。你的设计里turbo直怼腔体，问题不大。这不是经验问题，完全可以手工计算，懒的话可以用免费软件molflow+进行monte carlo仿真，可以直接导入STL模型，仿真结果和实际符合程度很好（前提所有部件质量和洁净程度可知可控）。

KF法兰使用合格Viton O-ring对于大气渗透率已经非常低，唯一就是对氢气氦气渗透率稍高。问题是大气中氢气和氦气含量非常少，所以除非持续对着法兰喷氦气，否则不会影响真空（不过氦检漏仪是可以看到的，具体表现就是停止喷氦气以后漏率指示缓缓上升，可能可以持续好几分钟）。

注意这里单纯就是讨论O-ring密封能不能达到1E-8torr这样的高真空，你的全CF设计没有问题，虽然在我看来overkill了，但是完全不影响fusor实验。如果有兴趣检查到底什么是阻止你达到更好的真空，直接往腔上加个RGA就好了，SRS的RGA100/200/300、Pfeiffer的Prisma或者MKS的VQM都很好。

另，作为正常科学交流，建议在提供数据的时候总是带上正确的单位。我的习惯是都用torr，但是看似你的回复里单位有混用，很多数字没有单位，对于讨论真空这种常用单位比较多的情况，比较容易引起误解。