这跟环境有啥关系。。。关键是要有钱。。。你就看那JEOL SEM, 不限国内,全世界有几个青年爱好者能买得起维护的了。就算能搞个空壳公司,在设备共享的公共平台做,也很不便宜。我需要做样品时每月开销都在大数字的千EUR量级。
有点好奇怎么在业余条件下实现曝光时field间的stitching的,现代的maskless lithography tool的那个sample positioning stage应该是相当贵的吧。 想了想,好像如果一切都可以按玩具标准考虑,对齐要求放松到多个um,允许手动操作实现stitching的话,多花点钱整一套Thorlabs nanomax之类的高质量光学micrometer stage是可以实现的。