3年9个月前IP:瑞士
915763
8楼
引用古法造轮发表于2楼的内容
> 随后对芯片进行清洁干燥,然后加上磷溶液并进行旋转,接着在一千多摄氏度的高温下烘烤45分钟,这样才能将磷原子转移到刚才用光刻胶形成的小井中,以形成mosfet的源极和漏极。一直以为这种掺杂要在惰性气...

可以搜索spin on dopant,原则上是可以在大气下做的,工艺参数需不需要调整就不知道了。

评论(1)
文号 / 915763

百炼成钢
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{{note.content}}
{{n.user.username}}
{{fromNow(n.toc)}} {{n.status === noteStatus.disabled ? "已屏蔽" : ""}} {{n.status === noteStatus.unknown ? "正在审核" : ""}} {{n.status === noteStatus.deleted ? '已删除' : ''}}
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我也是有底线的