引用古法造轮发表于2楼的内容 > 随后对芯片进行清洁干燥,然后加上磷溶液并进行旋转,接着在一千多摄氏度的高温下烘烤45分钟,这样才能将磷原子转移到刚才用光刻胶形成的小井中,以形成mosfet的源极和漏极。一直以为这种掺杂要在惰性气...
可以搜索spin on dopant,原则上是可以在大气下做的,工艺参数需不需要调整就不知道了。