文中尺寸的四极杆配合无增益的FC尚且具有E-5A/Torr@Ar的灵敏度，仅比常见尺寸的RGA低了一个数量级。HPQx系列应用于高压力的特殊工况，在E-2～E-6Torr的压力范围内总离子流会在E-7...
835挺耐用的高压区，倍增也没那么短命，它的分辨率高不需要很好的灵敏度就能完成测量，有没有倍增其实影响不大。说起来我好几次忘关 5mbar左右灯丝烤几个小时，啥事没有。
现在流行芯片级四级杆了，可以像素化，mems做硅结构，嵌入钨钢杆。过阵子有空我发个详细拆机图。
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文号 / 925353