大气压放电的德拜长度通常在0.1mm的尺度，考虑到微电弧放电的等离子体密度由于扩散的原因可能会更低，对应的德拜长度会更长，从这个角度考虑，尺度低于100um的放电可能根本就不可用一般的等离子体描述方法来描述，放电区域的物质不满足电中性条件，传统的鞘层理论可能也会失效。

问题就在于，定性的来说我们需要运用何种模型去描述这种物质。首先击穿理论仍然适用，间隙的宽度仍然远远高于70nm的平均自由程，因此仍然可以使用巴申定律去预测。等离子体出于非电平衡状态，等离子体能量不仅仅是热能，还包括电场势能和定向运动能，因此等离子体温度概念意义会下降，同样的还有等离子体密度，因为非电平衡使得电子和离子密度产生明显的分离。

最后的结果是这样的物态具有的熄灭时间可能高于等离子体扩散模型计算出来的结果，熄灭过程中，储存的电场/定向动能可以给等离子体供能；但是另一方面，定向动能可能促进电子/离子与壁发生作用，从而加快熄灭过程。需要进行量级分析以确定哪种效应会占据主导地位