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1、圆柱形单模MPCVD装置 随着MPCVD技术的不断发展，以及对高质量不同晶粒尺寸和结构特征金刚石膜的迫切需求，微波等离子体装置的设计和改进成为科研者面临的重要课题，而具有高品质因素谐振腔的设计是解决这问题的关键因素
在工业微波和MPCVD行业中，电源通常就是指微波源。但在本文中，“电源”是指供给磁控管高压、灯丝、励磁的直流电源。“微波源”是指电源与磁控管及附属设备的组合，对外输出微波。
几个月前听说江湖上流行种钻石（制备人造钻石），而且不像以前那么Low，反而高科技，一看用到的技术KC各局全面覆盖啊，大家一时兴起，就DIY了一个炉子，开启了伟大的“三三〇工程”。好久没干过工程了，怀念...
邹院士团队考察了微波等离子体气相沉积（MPCVD）技术装备等在研技术和产品，并就研发工作悉心指教。与实验室有关同学围绕装备发展、科技创新、人才培养等话题开展了深入交流。
请问MPCVD能长SiC大晶体吗？考虑到SiC晶体结构和某些性质类似于钻石，且当前关于其生长的报道大多数都是气相沉积……倒是搜到了一些MPCVD SiC薄膜的资料，但是没有生长体块晶体的中文报道。