这类自动天调其实有一些窍门。比如在等离子没起来的时候，其实腔体是全反射，如果按照那个状态调，肯定就调歪了。13.56还不像2450，没有便宜的方法来旁路反射（这么低频的环形器恐怕价格要上天），反射回去...
起弧瞬间特别亮，然后调整负载（一般是把要清洁或者镀膜的东西挪到等离子体里面）的时候匹配没有发出声音，但是感觉得到天调变化了（有pid那种overshoot的亮度闪烁）
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文号 / 869988