似乎没有卡脖子的问题，十几年前相关中文论文就多如牛毛，个个都声称做出来了而且效果好，应该是以前产业链不成熟。而且这东西波长那么长，一个单元几十μm，估计微米级别的古代工艺就能搞定，攒一套要不了多少钱，...
MEMS的FPA要用分子束外延，虽然feature尺度大，要赶上90年代末-00年代初洛玛和flir的水平还是需要解决很多工业问题的，做一个两个发论文许多实验室都可以。。。
跟单片机工艺几乎没有关联，跟普通mems麦克风什么的也没什么关联，产线还是比较独特的
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文号 / 902927