当然需要同时知道负载的阻抗和源的阻抗,才能知道怎样把两者的阻抗转换成一样(共轭),以实现阻抗匹配。但是等离子装置内的环境是变化的,因此阻抗也是变化的,等离子体生成后和生成前,等离子体密度高和密度低,阻...
谢谢高人指点,是有自动阻抗匹配器但是体积和重量很大。而我的射频电源功率很小只有100瓦左右,等离子体反应器体积也很小没必要用那种自动阻抗匹配器,我听说对于小功率射频可以自己搭建一个T或π型的固定匹配电路?
实验需要做一个射频等离子体装置,已有射频电源和放电腔体,负载是容性的由2个电极构成。反应时放电腔体内充入低压气体,现在由于没有阻抗匹配网络,听说需要知道负载电极之间的阻抗值,请问大佬,设计阻抗匹配网络时需要测量负载的阻抗值吗?如果需要请问需要哪些仪器?