解释一下，有涡旋桶装结构的是阳极，钛化合物在此凝结，需要定期清理。板状结构的是钛阴极，可以明显看见对应涡旋结构位置有凹坑，是钛蒸发的结果。

以前没见过呢，阴极是钛板，阳极是什么材料啊？

看起来是不锈钢的，和钛板明显不同。有一篇文档可以参考一下。

KYKY溅射离子泵使用说明书.pdf 1.21MB PDF 821次下载 预览

左边的分子泵提供10e-4Pa左右的前级真空，真空达到以后关闭分子泵的阀门打开右边那个离子泵的高压电源，真空度会进一步提升。

有可能不是不鏽鋼。不鏽鋼極限真空不好也沒省多少錢近代的很少見，好一點的離子泵一般是一頭tantalum，一頭鈦的。

不像金属钽的质感，这是国产的便宜货，不一定能用钽

看到了传说中的钛泵。有些大型电子管里面就有个小钛泵，定期开几个钟头。

X射线影像增强器里面就有一个离子泵，通电就抽真空，所以放久了的增强器图像会模糊一会，一段时间才能到最清晰的状态。还有钛泵和溅射离子泵不是一个东西，原理不同，虽然都用钛做活性物质。下面这个网页上详细说了钛泵和溅射离子泵的区别和关系，可以看看。XXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXX

学习了。

哈哈好东西拆了。系统干净的话离子泵一路抽到1E-12torr都没啥问题。

钛泵是靠化学反应的，一般是钛灯丝通几十A电流把钛蒸镀到真空腔内壁上，然后这层钛和残余的氧气氮气什么的反应。所以钛泵是抽不了氦气的，因为钛无法和氦气反应。钛泵要自己设计正确的真空腔内壁，一般来说面积越大越好。定期开启电源是为了镀一层新的钛。钛泵抽速非常非常高。

离子泵基本和一个冷阴极规差不多（所以你还可以用离子泵的工作电流来估计真空度），基本是把电离的残余气体分子埋进钛，同时溅射出钛，这些钛还和前面钛泵一样靠化学反应吸附其他气体。最后结果就是一般气体都可以抽。结构的话现在基本是diode或者starcell

这个泵设计就是可以更换电极的。我就是把电极拆下来看看，拆完直接返厂清洗。停用好几年了也不干净了