解释一下，有涡旋桶装结构的是阳极，钛化合物在此凝结，需要定期清理。板状结构的是钛阴极，可以明显看见对应涡旋结构位置有凹坑，是钛蒸发的结果。
引用
评论
中科科仪溅射离子泵拆解
偶然得到一台大型溅射离子泵，拆了电极组看一下。
引用
评论
引用
评论
看到了传说中的钛泵。有些大型电子管里面就有个小钛泵，定期开几个钟头。
X射线影像增强器里面就有一个离子泵，通电就抽真空，所以放久了的增强器图像会模糊一会，一段时间才能到最清晰的状态。还有钛泵和溅射离子泵不是一个东西，原理不同，虽然都用钛做活性物质。下面这个网页上详细说了钛泵和溅射离子泵的区别和关系，可以看看。XXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXX
引用
评论
引用justinpiggy发表于9楼的内容哈哈好东西拆了。系统干净的话离子泵一路抽到1E-12torr都没啥问题。钛泵是靠化学反应的，一般是钛灯丝通几十A电流把钛蒸镀到真空腔内壁上，然后这层钛和残余的氧气氮气什么的反应。所以钛泵是抽不了氦气的...
这个泵设计就是可以更换电极的。我就是把电极拆下来看看，拆完直接返厂清洗。停用好几年了也不干净了
引用
评论